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資料名：
巻： 93 号： 10,Pt.1 ページ： 5888-5892 発行年： 2003年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902213422659647
整理番号：03A0394446
平行平板高周波プラズマにおける時間および空間分解電位
Time- and space-resolved electric potentials in a parallel-plate radio-frequency plasma
TEII K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MIZUMURA M
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
MATSUMURA S
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
TEII S
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 93 号： 10,Pt.1 ページ： 5888-5892 発行年： 2003年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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