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文献
J-GLOBAL ID:200902213889728626   整理番号:08A0781482

熱酸化で作製したGeO2/Ge MOS構造の界面捕獲密度の証拠

Evidence of low interface trap density in GeO2/Ge metal-oxide-semiconductor structures fabricated by thermal oxidation
著者 (4件):
MATSUBARA Hiroshi
(The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
SASADA Takashi
(The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
TAKENAKA Mitsuru
(The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
TAKAGI Shinichi
(The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 93  号:ページ: 032104  発行年: 2008年07月21日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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