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著者 (8件)：
資料名：
巻： 517 号： 8 ページ： 2762-2766 発行年： 2009年02月27日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902213915050633
整理番号：09A0159494
マグネトロンスパッタリング蒸着におけるYBaCuO薄膜結晶成長のための前駆体の解析
Analysis of precursors for crystal growth of YBaCuO thin films in magnetron sputtering deposition
FUKAYA Kota
(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
SASAKI Koichi
(Plasma Nanotechnology Res. Center, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
GAO Junsi
(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
KIMURA Taishi
(Dep. of Quantum Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
WATANABE Mitsuhiro
(Dep. of Quantum Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
INOUE Masumi
(Dep. of Quantum Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
FUJIMAKI Akira
(Dep. of Quantum Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
,
SUGAI Hideo
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Matsumoto-cho, Kasugai 487-8501, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 517 号： 8 ページ： 2762-2766 発行年： 2009年02月27日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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