Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (4件)：
資料名：
巻： 500 号： 1-2 ページ： 237-240 発行年： 2006年04月03日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902215892637618
整理番号：06A0098371
ポジ及びネガ調のポリメタクリル酸メチルパターン作製用の172nm真空紫外光を採用した簡単なリソグラフィー法
A simple lithographic method employing 172 nm vacuum ultraviolet light to prepare positive- and negative-tone poly(methyl methacrylate) patterns
ASAKURA S.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, JPN)
,
HOZUMI A.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98, Anagahora, Shimo-shidami, Moriyama-ku ...)
,
YAMAGUCHI T.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, JPN)
,
FUWA A.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 500 号： 1-2 ページ： 237-240 発行年： 2006年04月03日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。