文献
J-GLOBAL ID:200902216774855925
整理番号:09A1281038
三重の3倍の乱視分野での高度の幾何学的収差の補正
Correction of highe order geometrical aberration by triple 3-fold astigmatism field
著者 (16件):
SAWADA Hidetaka
(JST-CREST, Tokyo)
,
SAWADA Hidetaka
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
SASAKI Takeo
(JST-CREST, Tokyo)
,
SASAKI Takeo
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
HOSOKAWA Fumio
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
YUASA Shuuichi
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
TERAO Mitsuhisa
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
KAWAZOE Muneyuki
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
NAKAMICHI Tomohiro
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
KANEYAMA Toshikatsu
(JST-CREST, Tokyo)
,
KANEYAMA Toshikatsu
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
KONDO Yukihito
(JEOL Ltd, Tokyo)
,
KIMOTO Koji
(JST-CREST, Tokyo)
,
KIMOTO Koji
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki)
,
SUENAGA Kazutomo
(JST-CREST, Tokyo)
,
SUENAGA Kazutomo
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Tsukuba, JPN)
資料名:
Journal of Electron Microscopy
(Journal of Electron Microscopy)
巻:
58
号:
6
ページ:
341-347
発行年:
2009年12月
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
0022-0744
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)