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文献
J-GLOBAL ID:200902217319109529   整理番号:05A0713122

陽極多孔性アルミナによるけい素の電気化学エッチング

Electrochemical etching of silicon through anodic porous alumina
著者 (3件):
ASOH Hidetaka
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)
SASAKI Kunimitsu
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)
ONO Sachiko
(Dep. of Applied Chemistry, Kogakuin Univ., 1-24-2 Nishi-shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-8677, JPN)

資料名:
Electrochemistry Communications  (Electrochemistry Communications)

巻:号:ページ: 953-956  発行年: 2005年09月 
JST資料番号: W1133A  ISSN: 1388-2481  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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