文献
J-GLOBAL ID:200902217873997479
整理番号:06A0822132
プラズマ支援蒸着による透明導電性ZnO薄膜の低温成長
Low temperature growth of transparent conducting ZnO films by plasma assisted deposition
著者 (11件):
NISHII A.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
UEHARA T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
SAKANO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
NABETANI Y.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
AKITSU T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
KATO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
MATSUMOTO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
HAGIHARA S.
(Yamanashi Industrial Technol. Center, Kofu, JPN)
,
ABE O.
(Yamanashi Industrial Technol. Center, Kofu, JPN)
,
HIRAKI S.
(Nakaya Corp., Yamanashi, JPN)
,
FUJIKAWA Y.
(Nakaya Corp., Yamanashi, JPN)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
203
号:
11
ページ:
2887-2890
発行年:
2006年09月
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)