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文献
J-GLOBAL ID:200902217873997479   整理番号:06A0822132

プラズマ支援蒸着による透明導電性ZnO薄膜の低温成長

Low temperature growth of transparent conducting ZnO films by plasma assisted deposition
著者 (11件):
NISHII A.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
UEHARA T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
SAKANO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
NABETANI Y.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
AKITSU T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
KATO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
MATSUMOTO T.
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
HAGIHARA S.
(Yamanashi Industrial Technol. Center, Kofu, JPN)
ABE O.
(Yamanashi Industrial Technol. Center, Kofu, JPN)
HIRAKI S.
(Nakaya Corp., Yamanashi, JPN)
FUJIKAWA Y.
(Nakaya Corp., Yamanashi, JPN)

資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)

巻: 203  号: 11  ページ: 2887-2890  発行年: 2006年09月 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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