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著者 (2件)：
資料名：
巻： A116 号： 3 ページ： 378-383 発行年： 2004年10月29日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902218403603551
整理番号：04A0749980
垂直櫛型電極を持つz軸差動式静電容量SOI加速度計
A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes
TSUCHIYA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
FUNABASHI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A116 号： 3 ページ： 378-383 発行年： 2004年10月29日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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