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著者 (5件)：
資料名：
号： 79 ページ： 66-71 発行年： 2009年03月02日
JST資料番号： L0798A ISSN： 0915-6348 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902218900546472
整理番号：09A0307778
高速高電圧パルス列発生器を用いた大気圧過渡的グローマイクロ放電によるダイヤモンド様炭素薄膜の蒸着
DEPOSITION OF DIAMOND-LIKE-CARBON FILM BY ATMOSPHERIC PRESSURE TRANSIENT GLOW MICRODISCHARGE USING FAST HIGH-VOLTAGE PULSE TRAIN GENERATOR
IBUKA S.
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
HARADA K.
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
KIKUCHI J.
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
IGARASHI K.
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
ISHII S.
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Research Report. NIFS-PROC Series
(Research Report. NIFS-PROC Series)
号： 79 ページ： 66-71 発行年： 2009年03月02日
JST資料番号： L0798A ISSN： 0915-6348 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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