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著者 (5件)：
資料名：
巻： 39th ページ： 190-195 発行年： 2004年
JST資料番号： F0605B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902219298964418
整理番号：05A0043734
プラズマイオン注入・成膜(PBIID)法によって作製したDLC膜の残留応力測定
Residual Stress Measurement in DLC films prepared by Plasma-based Ion Implantation and Deposition (PBIID) Method
三木靖浩
(奈良県工技セ)
,
足立茂寛
(奈良県工技セ)
,
西村芳美
(栗田製作所)
,
杉原雅彦
(栗田製作所)
,
堀野裕治
(産業技術総合研)
資料名：
X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集
(Proceedings of the Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials)
巻： 39th ページ： 190-195 発行年： 2004年
JST資料番号： F0605B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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