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資料名：
巻： 44 号： 7B ページ： 5799-5802 発行年： 2005年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902219530742478
整理番号：05A0719763
超臨界二酸化炭素流体からのRu薄膜の堆積
Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids
KONDOH Eiichi
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 7B ページ： 5799-5802 発行年： 2005年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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