文献
J-GLOBAL ID:200902219844498571
整理番号:08A0833271
リン酸エッチング後に作製したNi/i-AlGaN/GaNショットキ試料
Characterization of Ni/i-AlGaN/GaN Schottky Samples Fabricated after H3PO4-Etching
著者 (4件):
SAWADA Takayuki
(Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN)
,
KAIZUKA Yuta
(Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN)
,
TAKAHASHI Kensuke
(Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN)
,
IMAI Kazuaki
(Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
108
号:
121(ED2008 39-108)
ページ:
351-355
発行年:
2008年07月02日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)