文献
J-GLOBAL ID:200902220172483242
整理番号:04A0550579
供給ガスへの窒素添加を介するa-C:H膜の応力低減
Stress reduction in a-C:H coatings through the addition of nitrogen to the feed gas
著者 (6件):
RABBANI F
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
GALINDO R E
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
ARNOLDBIK W M
(Utrecht Univ., Utrecht, NLD)
,
VAN DER ZWAAG S
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
VAN VEEN A
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
SCHUT H
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
13
号:
9
ページ:
1645-1657
発行年:
2004年09月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)