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資料名：
巻： 37 号： 6 ページ： R49-R73 発行年： 2004年03月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902220257312714
整理番号：04A0299956
プラズマと半導体表面との相互作用に関するその場診断を目的としたFourier変換型赤外位相変調偏光解析法
Fourier transform infrared phase-modulated ellipsometry for in situ diagnostics of plasma-surface interactions
SHIRAFUJI T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MOTOMURA H
(Kyoto Univ., Katsura, JPN)
,
TACHIBANA K
(Kyoto Univ., Katsura, JPN)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 37 号： 6 ページ： R49-R73 発行年： 2004年03月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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