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著者 (6件)：
資料名：
巻： 3 号： 2 ページ： 416-423 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： U0026A ISSN： 1880-9871 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902220723829609
整理番号：09A0236050
X線リソグラフィーによる高アスペクト比X線回折格子の製作
Fabrication of High Aspect Ratio X-ray Grating Using X-ray Lithography
NODA Daiji
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo)
,
TSUJII Hiroshi
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo)
,
SHIMADA Kazuma
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo)
,
YASHIRO Wataru
(Dep. of Advanced Materials Sci., School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo)
,
MOMOSE Atsushi
(Dep. of Advanced Materials Sci., School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo)
,
HATTORI Tadashi
(Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo)
資料名：
Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web)
(Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web))
巻： 3 号： 2 ページ： 416-423 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： U0026A ISSN： 1880-9871 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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