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文献

J-GLOBAL ID：200902221113891155 整理番号：05A0564428

静電マイクロモータとその信頼性

Electrostatic micromotor and its reliability

著者 (3件)：

ZHANG Wenming

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

MENG Guang

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

LI Hongguang

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

資料名：

Microelectronics Reliability (Microelectronics Reliability)

巻： 45 号： 7-8 ページ： 1230-1242 発行年： 2005年07月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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