文献
J-GLOBAL ID:200902221715644370
整理番号:03A0393163
光ポリマー膜を用いた冷紫外光スタンピング法による高解像度パターン再現
High-Resolution Pattern Reproduction by Cold Ultra Violet Stamping in Optical Polymeric Films
著者 (4件):
GUSTAFIK P
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
SUGIHARA O
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
FUJIMURA H
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
OKAMOTO N
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
4B
ページ:
2541-2544
発行年:
2003年04月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)