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著者 (4件)：
資料名：
巻： 74 号： 5 ページ： 463-467 発行年： 2008年05月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902221930530903
整理番号：08A0457987
光ファイバ伝送レーザ光を直接利用したシリコンのレーザアシストエッチング加工
Processing of Silicon by Direct Irradiation of Laser Beam Transmitted Through Optical Fiber
山下祥宣
(東京工大 大学院)
,
細野高史
(信州大 工)
,
比田井洋史
(東京工大 大学院)
,
戸倉和
(東京工大 大学院)
資料名：
精密工学会誌(CD-ROM)
(精密工学会誌論文集)
巻： 74 号： 5 ページ： 463-467 発行年： 2008年05月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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