文献
J-GLOBAL ID:200902222155835472
整理番号:05A0682272
分子ビームエピタクシーにより(411)A InP基板上に成長させたシュードモルフィックIn0.74Ga0.26As/In0.52Al0.48As変調ドープ量子井戸の電子移動度による界面粗さ特性
Interface roughness characterization by electron mobility of pseudomorphic In0.74Ga0.26As/In0.52Al0.48As modulation-doped quantum wells grown on (411)A InP substrates by molecular beam epitaxy
著者 (7件):
KATOH S.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SAGISAKA H.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YAMAMOTO M.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
WATANABE I.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KITADA T.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SHIMOMURA S.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HIYAMIZU S.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
23
号:
3
ページ:
1154-1157
発行年:
2005年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)