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J-GLOBAL ID：200902224550419022 整理番号：07A0066201

アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)-一層ナップ構造ポリシャの場合-

Investigations on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate (1st Report)-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-

著者 (4件)：

安井平司

(熊本大工)

山口寛太

(熊本大大学院自然科学研究科)

松川誠治

(熊本大大学院自然科学研究科)

山崎穣

(熊本大大学院自然科学研究科)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 73 号： 1 ページ： 107-111 発行年： 2007年01月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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