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著者 (4件)：
資料名：
巻： 12 号： 2 ページ： 205-216 発行年： 2003年05月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902224822152829
整理番号：03A0397852
PECVDによるカーボンナノチューブの成長 レビュー
Carbon nanotube growth by PECVD: a review
MEYYAPPAN M
(NASA Ames Res. Center, CA, USA)
,
DELZEIT L
(NASA Ames Res. Center, CA, USA)
,
CASSELL A
(NASA Ames Res. Center, CA, USA)
,
HASH D
(NASA Ames Res. Center, CA, USA)
資料名：
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻： 12 号： 2 ページ： 205-216 発行年： 2003年05月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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