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文献
J-GLOBAL ID:200902225660645636   整理番号:05A0424108

光スイッチの形成に対するマイクロ熱型押しの適用

Applications of micro hot embossing for optical switch formation
著者 (4件):
SHAN X.C.
(Singapore Inst. Manufacturing Technol. (SIMTech), Singapore, SGP)
IKEHARA T.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
MURAKOSHI Y.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
MAEDA R.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: A119  号:ページ: 433-440  発行年: 2005年04月13日 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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