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著者 (6件)：
資料名：
巻： 39 号： 13 ページ： 2796-2802 発行年： 2006年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902226801241603
整理番号：06A0568709
蛍光X線吸収微細構造により調べたTiN/Si3N4超硬多層膜に関する界面混合
Interfacial intermixing of TiN/Si3N4 super-hard multilayer films studied by fluorescence x-ray absorption fine structure
PAN Zhiyun
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
,
SUN Zhihu
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
,
XIE Zhi
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
,
XU Junhua
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
KOJIMA Isao
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
WEI Shiqiang
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 39 号： 13 ページ： 2796-2802 発行年： 2006年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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