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著者 (3件)：
資料名：
巻： 8 号： 3 ページ： 334-341 発行年： 2003年09月
JST資料番号： W0894A ISSN： 1083-4435 CODEN： IATEFW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902230497694296
整理番号：03A0690096
磁気サスペンションステージの長走行超精密x-y-θ運動制御
Large Travel Ultra Precision x-y-θ Motion Control of a Magnetic-Suspension Stage
KUO S-K
(Ohio State Univ., OH, USA)
,
SHAN X
(Corning Inc., NM, USA)
,
MENQ C-H
(Ohio State Univ., OH, USA)
資料名：
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
(IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)
巻： 8 号： 3 ページ： 334-341 発行年： 2003年09月
JST資料番号： W0894A ISSN： 1083-4435 CODEN： IATEFW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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