文献
J-GLOBAL ID:200902231000239724
整理番号:04A0599986
マザーマシン用X-Y-θナノ位置決めテーブルシステム
X-Y-θ Nano-Positioning Table System for a Mother Machine
著者 (6件):
SHINNO H
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
HASHIZUME H
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
YOSHIOKA H
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
KOMATSU K
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
SHINSHI T
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
SATO K
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
53
号:
1
ページ:
337-340
発行年:
2004年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)