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資料名：
巻： 255 号： 15 ページ： 6857-6861 発行年： 2009年05月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902231629819006
整理番号：09A0494819
レーザ走査およびアルカリエッチングによる単結晶シリコン上のパターン形成
Patterning on single crystalline silicon by laser scanning and alkaline etching
HOSONO Takashi
(Dep. of Mechanical Sciences and Engineering, Tokyo Inst. of Technol., 2-12-1 Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8550, JPN)
,
TOKURA Hitoshi
(Dep. of Mechanical Sciences and Engineering, Tokyo Inst. of Technol., 2-12-1 Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8550, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 255 号： 15 ページ： 6857-6861 発行年： 2009年05月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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