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資料名：
巻： 21 号： 21 ページ： 9390-9392 発行年： 2005年10月11日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902232867247289
整理番号：05A0918137
新しいナノインプリントおよびソフト・リソグラフィー用スタンプとしてのふっ素化有機-無機ハイブリッド鋳型
Fluorinated Organic-Inorganic Hybrid Mold as a New Stamp for Nanoimprint and Soft Lithography
CHOI Dae-Geun
(Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR)
,
JEONG Jun-ho
(Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR)
,
SIM Young-suk
(Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR)
,
LEE Eung-sug
(Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR)
,
KIM Woo-Soo
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon, KOR)
,
BAE Byeong-Soo
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon, KOR)
資料名：
Langmuir
(Langmuir)
巻： 21 号： 21 ページ： 9390-9392 発行年： 2005年10月11日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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