文献
J-GLOBAL ID:200902234104169905
整理番号:07A0509436
さまざまなO2/(Ar+O2)ガス比率を用いて成長したZnO薄膜の圧電特性と光学特性
Piezoelectric and optical properties of ZnO thin films deposited using various O2/(Ar+O2) gas ratios
著者 (4件):
KANG Seong Jun
(Chonnam National Univ., Yosu, KOR)
,
JOUNG Yang Hee
(Chonnam National Univ., Yosu, KOR)
,
CHANG Dong Hoon
(Inha Univ., Incheon, KOR)
,
KIM Kyoung Won
(Hynix Semiconductor Inc., Cheongju-si, KOR)
資料名:
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻:
18
号:
6
ページ:
647-653
発行年:
2007年06月
JST資料番号:
W0003A
ISSN:
0957-4522
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)