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文献
J-GLOBAL ID:200902234136420065   整理番号:08A0996337

α-Al2O3基板上での超音波ミスト化学蒸着によるコランダム構造のα-Ga2O3薄膜のヘテロエピタクシー

Heteroepitaxy of Corundum-Structured α-Ga2O3 Thin Films on α-Al2O3 Substrates by Ultrasonic Mist Chemical Vapor Deposition
著者 (2件):
SHINOHARA Daisuke
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
FUJITA Shizuo
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 47  号: 9 Issue 1  ページ: 7311-7313  発行年: 2008年09月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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