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著者 (2件)：
資料名：
巻： 286 号： 2 ページ： 259-278 発行年： 2006年01月15日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902236355286920
整理番号：06A0015394
窒化ガリウム成長化学とその反応室設計への影響の概要:プラネタリー半径流CVD装置への応用
An overview of gallium nitride growth chemistry and its effect on reactor design: Application to a planetary radial-flow CVD system
PARIKH Rinku P.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Inst. for Systems Res., Univ. of Maryland, Coll. Park, MD 20742, USA)
,
ADOMAITIS Raymond A.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Inst. for Systems Res., Univ. of Maryland, Coll. Park, MD 20742, USA)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 286 号： 2 ページ： 259-278 発行年： 2006年01月15日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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