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著者 (6件)：
資料名：
巻： 253 号： 21 ページ： 8699-8704 発行年： 2007年08月31日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902238469963339
整理番号：07A0777803
気体プラズマによるRu薄膜の酸化と還元
Oxidation and reduction of thin Ru films by gas plasma
IWASAKI Y.
(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)
,
IZUMI A.
(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)
,
TSURUMAKI H.
(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)
,
NAMIKI A.
(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)
,
OIZUMI H.
(Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ...)
,
NISHIYAMA I.
(Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ...)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 253 号： 21 ページ： 8699-8704 発行年： 2007年08月31日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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