文献
J-GLOBAL ID:200902238655777324
整理番号:06A0756643
プラズマ支援分子ビームエピタクシーによるAlNの成長における動力学とエネルギー過程の影響
Roles of Kinetics and Energetics in the Growth of AlN by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy
著者 (8件):
IM I. H.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MINEGISHI T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HANADA T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
LEE S. W.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OH D. C.
(Hoseo Univ., Asan)
,
CHANG J. H.
(Korea Maritime Univ., Busan)
,
CHO M. W.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAO T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Journal of the Korean Physical Society
(Journal of the Korean Physical Society)
巻:
49
号:
3
ページ:
908-912
発行年:
2006年09月15日
JST資料番号:
T0357A
ISSN:
0374-4884
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
韓国 (KOR)
言語:
英語 (EN)