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J-GLOBAL ID:200902238655777324   整理番号:06A0756643

プラズマ支援分子ビームエピタクシーによるAlNの成長における動力学とエネルギー過程の影響

Roles of Kinetics and Energetics in the Growth of AlN by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy
著者 (8件):
IM I. H.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
MINEGISHI T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
HANADA T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
LEE S. W.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
OH D. C.
(Hoseo Univ., Asan)
CHANG J. H.
(Korea Maritime Univ., Busan)
CHO M. W.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
YAO T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名:
Journal of the Korean Physical Society  (Journal of the Korean Physical Society)

巻: 49  号:ページ: 908-912  発行年: 2006年09月15日 
JST資料番号: T0357A  ISSN: 0374-4884  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 韓国 (KOR)  言語: 英語 (EN)
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