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著者 (3件)：
資料名：
巻： 352 号： 1 ページ： 1-7 発行年： 2006年01月01日
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902238961510170
整理番号：06A0015942
BrCNの分解による機械的に硬いアモルファス窒化炭素薄膜の析出
Deposition of mechanically hard amorphous carbon nitride films from decomposition of BrCN. Effects of substrate cooling and pulsed rf-bias voltage
ITO H.
(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)
,
HORI K.
(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)
,
SAITOH H.
(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 352 号： 1 ページ： 1-7 発行年： 2006年01月01日
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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