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著者 (6件)：
資料名：
巻： 93 号： 11 ページ： 8793-8841 発行年： 2003年06月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902239391095935
整理番号：03A0413619
マイクロエレクトロニクス用の低誘電率材料
Low dielectric constant materials for microelectronics
MAEX K
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BAKLANOV M R
(IMEC, Leuven, BEL)
,
SHAMIRYAN D
(IMEC, Leuven, BEL)
,
IACOPI F
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BRONGERSMA S H
(IMEC, Leuven, BEL)
,
YANOVITSKAYA Z S
(Inst. Semiconductor Physics, Novosibirsk, RUS)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 93 号： 11 ページ： 8793-8841 発行年： 2003年06月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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