文献
J-GLOBAL ID:200902239403521927
整理番号:04A0835636
MOCVDにおけるチタン源に関するin situ赤外分光研究
In Situ Infrared Spectroscopic Study on a Titanium Source in MOCVD
著者 (4件):
NAKAMURA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NISHIMURA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MOMOSE S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TACHIBANA K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
151
号:
10
ページ:
C605-C609
発行年:
2004年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)