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著者 (5件)：
資料名：
巻： 449 号： 1/2 ページ： 120-124 発行年： 2004年02月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902239734448219
整理番号：04A0150960
マグネトロンスパッタリングによる炭化ほう素薄膜のプロセス-性質関係
Process-property relationship of boron carbide thin films by magnetron sputtering
WU M-L
(Seagate Res., PA, USA)
,
KIELY J D
(Seagate Res., PA, USA)
,
KLEMMER T
(Seagate Res., PA, USA)
,
HSIA Y-T
(Seagate Res., PA, USA)
,
HOWARD K
(Seagate Res., PA, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 449 号： 1/2 ページ： 120-124 発行年： 2004年02月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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