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資料名：
巻： 71 号： 12 ページ： 1541-1547 発行年： 2005年12月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902240323243290
整理番号：05A1044004
CVDダイヤモンド膜の研磨に関する研究(第2報)-砥粒レス超音波研磨法による連続研磨の検討-
Study on Polishing of CVD Diamond Film (2nd report)-Possibility of Continuous Polishing by Non Abrasive Ultrasonic Vibration Polishing-
横沢毅
(都立産業技術研)
,
高木純一郎
(横浜国大)
,
片岡征二
(東京都中小企業振興公社)
資料名：
精密工学会誌(CD-ROM)
(精密工学会誌論文集)
巻： 71 号： 12 ページ： 1541-1547 発行年： 2005年12月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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