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著者 (3件)：
資料名：
巻： 47 号： 23 ページ： 4979-4994 発行年： 2004年11月
JST資料番号： C0390A ISSN： 0017-9310 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902241223226816
整理番号：04A0796724
薄膜蒸着のための大面積大気圧よどみ流CVDにおける液体流と輸送プロセス
Fluid flow and transport processes in a large area atmospheric pressure stagnation flow CVD reactor for deposition of thin films
LUO G
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
,
VANKA S P
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
,
GLUMAC N
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
資料名：
International Journal of Heat and Mass Transfer
(International Journal of Heat and Mass Transfer)
巻： 47 号： 23 ページ： 4979-4994 発行年： 2004年11月
JST資料番号： C0390A ISSN： 0017-9310 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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