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著者 (5件)：
資料名：
巻： 242 号： 1-2 ページ： 393-395 発行年： 2006年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902243154696603
整理番号：06A0164142
イオンビーム支援堆積法によりSiウエハ上に堆積したTiO2膜の結晶構造に対する酸素イオンビーム照射効果
Effects of oxygen ion beam application on crystalline structures of TiO2 films deposited on Si wafers by an ion beam assisted deposition
YOKOTA Katsuhiro
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
YANO Yoshikazu
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
NAKAMURA Kazuhiro
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
OHNISHI Masami
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
MIYASHITA Fumiyoshi
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 242 号： 1-2 ページ： 393-395 発行年： 2006年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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