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著者 (7件)：
資料名：
巻： 17 号： 7 ページ： 2041-2047 発行年： 2006年07月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902243295998174
整理番号：06A0594489
直接追跡可能レーザ干渉計付き原子間力顕微鏡を用いたナノ計測横方向スケールの開発
Nanometric lateral scale development using an atomic force microscope with directly traceable laser interferometers
MISUMI I
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
GONDA S
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SATO O
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SUGAWARA K
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
YOSHIZAKI K
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KUROSAWA T
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
TAKATSUJI T
(National Inst.Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 17 号： 7 ページ： 2041-2047 発行年： 2006年07月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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