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著者 (6件)：
資料名：
巻： 124 号： 4 ページ： 143-147 発行年： 2004年04月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902244049421832
整理番号：04A0281826
PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価
村上修一
(大阪府産業技総研)
,
井上幸二
(大阪府産業技総研)
,
鈴木義彦
(大阪府産業技総研)
,
高松繁男
(日立造船 技研)
,
山下馨
(大阪大 大学院基礎工学研究科)
,
奥山雅則
(大阪大 大学院基礎工学研究科)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 124 号： 4 ページ： 143-147 発行年： 2004年04月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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