文献
J-GLOBAL ID:200902244217814730
整理番号:03A0694109
多波長干渉法を用いたステップ高さ測定における一意領域の増大 絶対長ゲージブロック測定への応用
Increasing the range of unambiguity in step-height measurement with multiple-wavelength interferometry-application to absolute long gauge block measurement.
著者 (9件):
DECKER J E
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
,
MILES J R
(Commonwealth Scientific and Industrial Res. Organisation National Measurement Lab., Victoria, AUS)
,
MADEJ A A
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
,
SIEMSEN R F
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
,
SIEMSEN K J
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
,
DE BONTH S
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
BUSTRAAN K
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
TEMPLE S
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
,
PEKELSKY J R
(National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
42
号:
28
ページ:
5670-5678
発行年:
2003年10月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)