文献
J-GLOBAL ID:200902244561231417
整理番号:09A0929925
表面トポグラフィー学習観測装置による原子間力顕微鏡の高速高精度な制御
High-speed High-precision Control of Atomic Force Microscope by Surface Topography Learning Observer
著者 (2件):
SHIRAISHI Takayuki
(Yokohama National Univ., JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Yokohama National Univ., JPN)
資料名:
Proceedings of the American Control Conference
(Proceedings of the American Control Conference)
巻:
2009 Vol.2
ページ:
961-966
発行年:
2009年
JST資料番号:
B0982A
ISSN:
0743-1619
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)