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資料名：
巻： 72 号： 713 ページ： 170-178 発行年： 2006年01月25日
JST資料番号： F0036B ISSN： 0387-5016 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902244630566841
整理番号：06A0095265
空気中に集光されたArFレーザパルス光の吸収過程についての数値解析予測と実験的検証
Numerical Analytic Prediction and Experimental Validation of Focused ArF Laser Pulse Absorption Process in Air
斉藤剛
(産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
,
石黒博樹
(筑波大 大学院理工学研究科)
,
古谷博秀
(産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
,
高橋三余
(産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
資料名：
日本機械学会論文集 B編
(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B)
巻： 72 号： 713 ページ： 170-178 発行年： 2006年01月25日
JST資料番号： F0036B ISSN： 0387-5016 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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