文献
J-GLOBAL ID:200902245763104545
整理番号:09A0189335
アモルファス炭素および窒化炭素膜の液相堆積
Liquid Phase Deposition of Amorphous Carbon and Carbon Nitride Films
著者 (4件):
KIYOTA Hideo
(Dep. of Mechanical Systems Engineering, School of Industrial Engineering, Tokai Univ., JPN)
,
GAMO Hidenori
(Technical Res. Inst., Toppan Printing Co., Ltd., JPN)
,
NISHITANI-GAMO Mikka
(Dep. of Applied Chemistry and Sensor Photonics Res. Center, Toyo Univ., JPN)
,
ANDO Toshihiro
(National Inst. for Materials Sci., JPN)
資料名:
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)
(e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻:
7
ページ:
102-106 (J-STAGE)
発行年:
2009年
JST資料番号:
U0016A
ISSN:
1348-0391
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)