文献
J-GLOBAL ID:200902246474315313
整理番号:09A0334316
インデント誘導固相結晶化による絶縁体上のSiGe結晶結晶粒の位置制御した成長
Position-Controlled Growth of SiGe Crystal Grains on Insulator by Indentation-Induced Solid-Phase Crystallization
著者 (3件):
TOKO Kaoru
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SADOH Taizoh
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MIYAO Masanobu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
48
号:
3,Issue 3
ページ:
03B007.1-03B007.4
発行年:
2009年03月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)