文献
J-GLOBAL ID:200902248048219458
整理番号:05A0306846
TMGa/NH3/H2システムを用いた有機金属気相エピタキシーによるGaN成長の反応経路のモデル化:コンピュータによる流体力学シミュレーション研究
Modeling of Reaction Pathways of GaN Growth by Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy Using TMGa/NH3/H2 System: A Computational Fluid Dynamics Simulation Study
著者 (3件):
HIRAKO A
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
,
KUSAKABE K
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
,
OHKAWA K
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
44
号:
2
ページ:
874-879
発行年:
2005年02月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)