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文献
J-GLOBAL ID:200902248048219458   整理番号:05A0306846

TMGa/NH3/H2システムを用いた有機金属気相エピタキシーによるGaN成長の反応経路のモデル化:コンピュータによる流体力学シミュレーション研究

Modeling of Reaction Pathways of GaN Growth by Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy Using TMGa/NH3/H2 System: A Computational Fluid Dynamics Simulation Study
著者 (3件):
HIRAKO A
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
KUSAKABE K
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
OHKAWA K
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 44  号:ページ: 874-879  発行年: 2005年02月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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