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資料名：
巻： 17 号： 2 ページ： 181-198 発行年： 2008年06月
JST資料番号： W0482A ISSN： 1059-9630 CODEN： JTTEE5 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902248256578291
整理番号：08A0611278
エアロゾル蒸着による微細セラミック粉末の室温衝撃圧密(RTIC)とマイクロデバイスへの応用
Room Temperature Impact Consolidation (RTIC) of Fine Ceramic Powder by Aerosol Deposition Method and Applications to Microdevices
AKEDO Jun
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Thermal Spray Technology
(Journal of Thermal Spray Technology)
巻： 17 号： 2 ページ： 181-198 発行年： 2008年06月
JST資料番号： W0482A ISSN： 1059-9630 CODEN： JTTEE5 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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