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文献
J-GLOBAL ID:200902248544452529   整理番号:09A0508904

単結晶シリコン切削初期段階のデジタル顕微鏡観察

Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon
著者 (3件):
INAMURA T.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
SHISHIKURA Y.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
TAKEZAWA N.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)

資料名:
CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)

巻: 58  号:ページ: 69-72  発行年: 2009年 
JST資料番号: E0026A  ISSN: 0007-8506  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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