文献
J-GLOBAL ID:200902248748169001
整理番号:05A0155177
入射の小さな視射角でのX線回折を用いた表面下の多結晶層の深さプロフィリング
Depth profiling of polycrystalline layers under a surface using x-ray diffraction at small glancing angle of incidence
著者 (3件):
FUJII Y
(Kobe Univ., Kobe, JPN)
,
KOMAI T
(Kobe Univ., Kobe, JPN)
,
IKEDA K
(Kobe Steel Ltd., Kobe, JPN)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
37
号:
2
ページ:
190-193
発行年:
2005年02月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)